南韩SK海力士火警泄剧毒气体 3600人紧急疏散 至少7人送院

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南韩半导体大厂SK海力士(SK Hynix)位于忠清北道清州的晶片工厂周一上午发生大火,导致毒气泄漏,厂内3千多名员工紧急疏散,至少7人送院。

韩联社报道,SK海力士清州园区于当地时间上午10时半左右传出火警,清州厂4号楼连接M15、M15X厂区的6楼失火,自动洒水系统启动后火势迅速扑灭。

SK海力士清州厂失火并泄露剧毒气体氟化氢,厂内3600人紧急疏散。SK海力士官网
SK海力士清州厂失火并泄露剧毒气体氟化氢,厂内3600人紧急疏散。SK海力士官网

 

SK海力士位于清州的晶片工厂发生火警。路透社资料照片
SK海力士位于清州的晶片工厂发生火警。路透社资料照片

 

SK海力士在DRAM和NAND闪存供应链中占据重要地位。路透社
SK海力士在DRAM和NAND闪存供应链中占据重要地位。路透社

 

剧毒氟化氢外泄

不过估计有5ppm的剧毒气体氟化氢外泄,起火地点有5人感到眼睛疼痛,另外2人虽然没有具体症状,但由于位于泄露区域因此也一并送院。

SK海力士在氟化氢外泄后,立即将M15、M15X厂区的3600名员工全数疏散,等到安全检查无虞后才会让职员返回工作岗位。

SK海力士表示,生产线设备并未受到影响,因此没有生产中断的情况,目前推估是天然气管线引发火灾,之后将展开详细调查。

全球主要半导体生产基地之一

涉事区域主要用于存放晶片制造过程中所需的各种特种气体,其中就包括具有强腐蚀性和剧毒性的氟化氢。氟化氢在半导体工艺中常用于晶圆蚀刻和清洗,但一旦泄漏,会对人体呼吸道、皮肤及眼睛造成严重伤害,高浓度暴露甚至可能危及生命。

目前南韩消防、警方以及SK海力士方面正在对事故原因展开联合调查。这家晶片工厂是全球主要的半导体生产基地之一,在DRAM和NAND闪存供应链中占据重要地位。
 

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