南韓半導體大廠SK海力士（SK Hynix）位於忠清北道清州的晶片工廠周一上午發生大火，導致毒氣泄漏，廠內3千多名員工緊急疏散，至少7人送院。
韓聯社報道，SK海力士清州園區於當地時間上午10時半左右傳出火警，清州廠4號樓連接M15、M15X廠區的6樓失火，自動洒水系統啟動後火勢迅速撲滅。
SK海力士清州廠失火併泄露劇毒氣體氟化氫，廠內3600人緊急疏散。SK海力士官網
SK海力士位於清州的晶片工廠發生火警。路透社資料照片
SK海力士在DRAM和NAND閃存供應鏈中佔據重要地位。路透社
劇毒氟化氫外泄
不過估計有5ppm的劇毒氣體氟化氫外泄，起火地點有5人感到眼睛疼痛，另外2人雖然沒有具體癥狀，但由於位於泄露區域因此也一併送院。
SK海力士在氟化氫外泄後，立即將M15、M15X廠區的3600名員工全數疏散，等到安全檢查無虞後才會讓職員返回工作崗位。
SK海力士表示，生產線設備並未受到影響，因此沒有生產中斷的情況，目前推估是天然氣管線引發火災，之後將展開詳細調查。
全球主要半導體生產基地之一
涉事區域主要用於存放晶片製造過程中所需的各種特種氣體，其中就包括具有強腐蝕性和劇毒性的氟化氫。氟化氫在半導體工藝中常用於晶圓蝕刻和清洗，但一旦泄漏，會對人體呼吸道、皮膚及眼睛造成嚴重傷害，高濃度暴露甚至可能危及生命。
目前南韓消防、警方以及SK海力士方面正在對事故原因展開聯合調查。這家晶片工廠是全球主要的半導體生產基地之一，在DRAM和NAND閃存供應鏈中佔據重要地位。
